Los dispositivos semiconductores son cada vez más miniaturizados, altamente integrados y multicapa año tras año en el circuito y las piezas de detección, y existe una demanda de servicio al cliente que enfatiza la reducción del período de análisis de fallas y la investigación temprana de la causa de la falla. .
Tecnología de análisis
Los dispositivos semiconductores son cada vez más miniaturizados, altamente integrados y multicapa año tras año en el circuito y las piezas de detección, y existe una demanda de servicio al cliente que enfatiza la reducción del período de análisis de fallas y la identificación temprana de las causas de fallas. Falla. El análisis de fallas de dispositivos semiconductores requiere instrumentos analíticos de alta precisión y alta sensibilidad que puedan observar a niveles nanométricos y micrométricos. AKM ofrece varios tipos de equipos de análisis de fallas para analizar de manera eficiente y completa el comportamiento complejo de los dispositivos semiconductores altamente integrados. Además, AKM está mejorando sus herramientas y su entorno.
Equipo de análisis
AKM utiliza varios tipos de equipos de análisis de fallas, como se muestra en la siguiente figura.
Ejemplo de análisis (Ejemplo usando un sistema de nanosondeo)
Un sistema de nanosondeo es un sistema de sondeo basado en SEM. SEM se utiliza para lograr un sondeo a escala nanométrica. Un ejemplo típico es medir las características estáticas de un solo MOS en un chip.